主要参数：

移动方向：X、Z(平移)，θX(俯仰)、θZ(偏转)
调节范围：X、Z:50mm、θXθZ:±1.2°；  分辨率：X、Z:0.5um、θXθZ:0.001°,
电动衰减器：360°旋转
手动二维调节架：θXθZ：±2° ，分辨率：0.005°
 

ST5 电动特殊光学调整组件

      电动特殊光学调整组件,由四维电动调整架、电动衰减器、手动调整架等组件合成。该设备可以安装激光器等等光学器件,通过电动滤光器,聚焦组件等,实现光学耦合或者不同波长光路的切换等功能。