主要参数：

XYZ平移：调节范围:300mm，分辨率:2um

θZ旋转：调节范围:360°，分辨率:0.005°

ST15 精密四维电动调节装置

      精密四维电动调节装置，台面上可以安装各种器件进行电动调节。该结构由XY平移、Z升降以及θZ旋转组成，结构稳定，承载能力大。