主要参数：
调整方向：XYZ(平移)、θXθY(俯仰)

调节范围：XY：300mm、Z：800mm、 θXθY：±3°

分辨率：XYZ：2um、θXθY：±0.002°

承载：50Kg

SD1 大型五维精密干涉仪调节台

       大型五维精密干涉仪调节台，台面上可以安装大型干涉仪测量设备,实现仪器的三维直线调整和二维俯仰调节。整个装备调节稳定,使用方便。