主要参数:调整方向:XYZ(平移),θXθY(俯仰),θZ(转摆)调节范围:XY:100mm,Z:35mm,,θXθYθZ:±5°分辨率:XYZ:2um,,θXθYθZ:0.002°承载:70Kg
SD3 高精度大承载六维调节台
该机构可以承载大型物件,进行高精度的XYZ三维直线调节和θXθYθZ三维角度调节。结构稳定性好,使用方便,调节分辨率高。