主要参数：
调整方向：XYZ(平移)，θX(俯仰)，θZ(转摆)
调节范围：XY:300mm，Z:200mm，  θXθZ:±3°
分辨率：XY:4um，  Z:1um，  θXθZ:0.005°
承载：100Kg

SD4 中大型五维调整装置

      该机构可以承载大型物件，进行高精度的XYZ三维直线调节和θXθZ二维角度调节。结构稳定性好,使用方便,调节分辨率高。