NS-CDCS10L纳米位移电容传感器（工业级）
典型应用：
精密制造 计量检测
变形监测 显微镜
材料测试 震动检测
产品参数：
型号 | NS-CDCS10L-20 | NS-CDCS10L-100 | NS-CDCS10L-200 | NS-CDCS10L-400 |
量程范围 | 20μm | 100μm | 200μm | 400μm |
分辨率RMS | < 0.2nmHz-1/2 | < 0.6nmHz-1/2 | < 0.8 nmHz-1/2 | < 1.0nmHz-1/2 |
线性度 | 0.08% | 0.1% | 0.15% | 0.2% |
传感器有效面积 | 25mm2 | 25mm2 | 25mm2 | 25mm2 |
带宽 | 10KHz | 10KHz | 10KHz | 10KHz |
工作温度范围 | 0～50℃ | 0～50℃ | 0～50℃ | 0～50℃ |
电压输出范围 | -10～10/-5～5/0～10(V) | -10～10/-5～5/0～10(V) | -10～10/-5～5/0～10(V) | -10～10/-5～5/0～10(V) |
供电电压 | ±15V | ±15V | ±15V | ±15V |
传感器线长 | 2m | 2m | 2m | 2m |
传感器材料 | Invar | Invar | Invar | Invar |
注：被测物体表面必须导电，接地良好（可定制），出厂默认带宽10kHz。