型號/規格 檯面大小 軌道模式 軸向 行程 真直度 平行度 靈敏度 重量 驱动螺丝
TPV25XYZ-05R 25mmX25mm 鳩尾槽 XYZ 10mm +/- 15um  +/-20um 5um 0.2Kg 100TPI