Shack-Hartmann (SH) 波前传感器在自适应光学中广泛使用。它的基本原理是把波前划分为若干个子孔径,在各个子孔径上分别测量两个正交方向上的波前偏导值,即波前斜率,然后根据子孔径上的波前斜率进行波前复原计算,得到整孔径上的波前位相.
PHASICS提供世界zui高分辨率的波前传感器,专利技术产品--4波横向剪切干涉,是在哈特曼基础上的进一步测试优化,这种技术可以直接测量以绝佳的分辨率和高动态可调范围,可以测量任意波前。此项革新性的技术及产品已经被越来越多的行业所应用,其产品可用于激光光束质量分析,光学产品的EFL,曲率半径、MTF、PSF等各项指标的测量
1. SID4 visible &SID4 HR(可见光)

SID4(visible)波前分析仪可以同时对相位和强度进行测量,而且具有非常高的分辨率 (160x120),SID4 HR波前分析仪拥有更高分辨率(400 x300)。基于相位的专利波前传感技术,它具有高分辨率,大动态以及更好的易用性。
主要特点
.高分辨率 160*120(SID4 visible)400*300(SID4 HR)
. 对发散或者平行光束均可以直接测量
.在400-1100nm范围消色差
.自我参照 对振动不敏感,容易调整
推荐用途
激光:激光测量,适应光学仪器
光学:镜头测试,表面测量
生物学:适应光学显微镜
SID 4 详细规格
.
SID4 (可见光) | SID4 visible | SID4 HR | 单位 |
波长范围(nm) | 400~1100 | 400~1100 | nm |
孔径尺寸 | 3.6*4.8 | 8.9×11.8 | mm^2 |
空间分辨率 | 29.6 | 29.6 | um |
相位和强度抽样 | 160*120(>19000) | 300*400(>120000) | points |
分辨率 | <2 | <2 | nmRMS |
精密度 | 10 | 15 | nmRMS |
动态范围 | >100 | >500 | um |
采集率 | >100 | >30 | fps |
实时处理频率 | >10 | >3 | fps |
计算机连接 | Giga Ethernet | Giga Ethernet | |
规模(w*h*l mm)_ | 54*46*75.4 | 54*46*79 | mm |
重量(g) | ~250 | ~250 | g |
2.SID4 UV-HR(紫外光)
SID4 UV-HR
基于相位的专利技术, 在190纳米到400纳米波段,SID4 UV-HR波前分析仪(在紫外光谱范围内)具有超高的分辨率(250 x250)和极高的灵敏度(0.5 nm RMS)。因此SID4 UV-HR是完全适应光学组件描述(用于光刻、半导体)和表面检测(镜头,晶片……);
主要特点
.超高分辨率 250×250
.高灵敏度 0.5nm RMS
.大型分析孔 8.0×8.0mm
.可以直接对光学器件表面进行测量

推荐用途
.紫外激光器:光束的测量和校正
.光学:紫外线光学(半导体)测试和表面测量。
SID4 UV-HR的详细规格
SID4 UV-HR | 单位 | 数据 |
波长范围 | nm | 190-400 |
框口尺寸 | mm^2 | 8.0*8.0 |
空间解析度 | Um | 32 |
相位和强度抽样 | 250*250 | |
分辨率 | nmRMS | 0.5 |
精密度 | nmRMS | 10 |
采集率 | fps | >30 |
实时处理频率 | fps | 1 |
规模(w*h*l) | mm | 95*105*84 |
重量 | g | 900 |
3.SID4 DWIR & SID4 LWIR-640 & SID4 IR-MCT(红外光)
SID4 DWIR
a.基于专利技术的SID4 DWIR是一个独特的波前分析仪,它覆盖中红外波段和远红外波段(3-5um& 8- 14um),
对于MWIR和LWIR,它提供了高分辨率的测量(160 x 120)范围,完全适合红外目标,
镜头测试或光束测量的红外激光器(二氧化碳、光参量来源…);
SID4 LWIR
b.SID4 LWIR是一个超高分辨率波前传感器,在长波红外区域(8-14um)相位的专利技术以及非制冷焦平面阵列技术使它简洁且易于使用,
因此很容易集成到光具座,远红外线镜头测试或激光光束测量链(二氧化碳激光器, LWIR来源……)。
SID4 IR-MCT
c.这种独特的波前分析仪拥有极高分辨率和超高灵敏度,并且它在短波红外成像的范围从1.2um到5.5um,因此它完全适在低光红外源,如以黑体或镜头为目标的测试或红外光谱的激光光束测量。


主要特点及推荐应用
a. SID 4 DWIR
特点
高分辨率 160*120
双频 MWIR&LWIR波段
消色差 兼容黑体
高数值孔径测量 没有中继透镜
应用
1. 光学测量, SID4 DWIR在描述红外目标(热成像和安全愿景),红外镜头(CO2激光器),MTF,PSF,以及Zernike畸变是非常完美的工具,它也可测试多个波长可能存在的色差
2. 在表征激光束的CO2激光器或红外激光源,SID4 DWIR提供了一个全面的光束特性(畸变,M²,强度剖面图,光束参数…)
b.SID4 LWIR
特点
高分辨率 160*120
消色差 8-14um
超长波段 1.2-5.5um
高数值孔径测量 没有中继透镜
便于集成
应用
1.对于光学计量,SID4 LWIR是一种独特的工具,用来描述光学的红外热成像,安全性或安全愿景等,并且它也是组成CO2激光器的光学部件,它提供了MTF和畸变。由于它的简洁性,因此可以在工作台或者生产线上进行简单的集成。
2.在激光计量方面,SID4 LWIR给出了全面的光束特性(M²,Strehl radio,强度剖面图,光束参数…)。它适用于远红外线光束测量如CO2激光器,LWIR光参量激光器等
c. SID4 IR-MCT
特点
超高灵敏度 3nm RMS@3uW/cm^2
高分辨率 160*128
即使在低通量条件下依然具有高精确度
超长波段 1.2-5.5um
高数值孔径测量 在F/1前没有中继透镜
上一代冷却MCT探测器
应用
1. 对于光学计量,SID4 IR-MCT是一种独特的工具,用于描述红外目标或镜头MTF以及畸变和WFE。其高灵敏度也可以和黑体一起进行高光谱测试
2. 在激光计量方面,在低红外光范围,量子级联激光器或红外光谱激光器,SID4红外是现有唯一的工具。它提供了一个完整的光束特征参数(畸变,M²,强度剖面图,光束参数……)
具体详细参数
参数 | 单位 | SID4 DWIR | SID4 LWIR | SID4 IR-MCT |
波长范围 | um | 3-5and8-14 | 8-14 | 1.2-5.5 |
孔径尺寸 | mm^2 | 10.88*8.16 | 16*12 | 9.60*7.68 |
最大孔径 | mm^2 | F/1 | ||
空间分辨率 | um | 68 | 100 | 60 |
精确度 | nm RMS | 75 | 75 | |
相位和强度抽样 | 160*120 | 160*120 | 160*128 | |
灵敏度 | nm RMS@uW/cm^2 | 25nm RMS | 25nm RMS | 3nm RMS@3uW/cm^2 |
动态范围 | um | 300 | ||
采集率 | fps | 50 | 24 | 140 |
实时处理频率 | fps(full resolution) | 10 | 10 | 20 |
检测技术 | Cooled MCT | |||
规格(w*h*l) | mm | 85*115*193 | 96*110*90 | 135*140*240 |
重量 | kg | ~1.6 | ~0.85 | ~3.5 |