ATLEX-C主要特点：
完整独立的激光器
集成了所有必需的组件
便于快速更换气体
气体系统预装并通过泄漏检测
激光腔体＜3L
全新技术的金属陶瓷反射腔
气冷，通风气体柜
系统集成RS485,RS232和光纤接口
便于清洗的光学支架
集成4阀门系统，便于气体处理
能力稳定模式
高压固态开关技术，寿命超长
US和EU专利
技术参数
| 介质气体 | F2 | ArF | KrF | XeCl | XeF | Units |
波长 | 157 | 193 | 248 | 308 | 351 | nm |
| 最大脉冲能量1) | 1 | 8 | 12 | 7 | 7 | mJ |
| 最大平均功率 |
| |||||
ATLEX-300-C | 0.2 | 1.5 | 3.5 | 1.5 | 1.7 | W |
| ATLEX-500-C | 0.5 | 2.5 | 5.5 | 2.5 | 2.5 | W |
最大重复频率 |
|
| ||||
ATLEX-300-C | 300 | Hz | ||||
ATLEX-500-C | 500 | Hz | ||||
| 脉宽2) | 4-6 | ns | ||||
| 光斑2) (V x H) | 4 x 6 | mm | ||||
| 发散角2) (V x H) | 1 x 2 | mrad | ||||
| 能量稳定性3) (标准差) | 3 | % | ||||
| 尺寸 (L x W x H) | 628 x 350 x 1130 | mm | ||||
| 重量 | 105 | kg | ||||
| 冷却方式 | 风冷 |
| ||||
| 电源要求 | 230 VAC / 6,3 A / 50-60 Hz / 1 phase |
| ||||
所有技术指标均是典型数据，因改进产品更改的指标，恕不通知用户
1） 在最低重复频率下测试：应用能量稳定模式将会有10%的输出能量损失
2） 典型数据，FWHM
3） 在最大电压下测量