PulseMasterR840系列通用准分子激光器
应用于工艺开发、科学研究和轻工业的品种齐全的先进的准分子激光器
TMCTM（全金属陶瓷）设计延长气体寿命
多种模、重复频率和平均功率
EasyClean自动光学密封，以保持填充气体，减少维护时停机时间
优秀的光束质量和稳定性
可选的高亮度镜头，适用于要求低光束发散或延长相干长度
PulseMaster PM-840 系列激光器广泛应用于工艺开发、科学研究和轻工制造业。TMCTM（全金属陶瓷）设计确保气体寿命延长和低运行成本。强大的微处理器控制允许对激光运行参数的精确控制，即使在突发模式下输出功率依然稳定，并简化日常保养程序。EasyClean自动阀门安装在光学端口，当因为清洗和维护而移动谐振腔时，允许激光腔被密封和保留填充钝化气体。
规格
PM-840 系列
| ArF | KrF | XeCl | XeF | |
| 波长（nm） |
| 193 | 248 | 308 | 351 |
| 最大脉冲能量（mJ） |
| 230 | 450 | 300 | 275 |
| 平均功率(W) | PM-848 | 30 | 80 | 50 | 45 |
PM-846 | 15 | 40 | 25 | 22 | |
PM-844 | 6 | 20 | 12 | 11 | |
PM-842 | 3 | 10 | 6 | 6 | |
| 最大重复频率（pps） | PM-848 | 200 | 200 | 200 | 200 |
PM-846 | 100 | 100 | 100 | 100 | |
PM-844 | 40 | 50 | 50 | 50 | |
PM-842 | 20 | 25 | 25 | 25 | |
| 脉冲持续时间（ns）（FWHM，nominal） | 12-20 | ||||
| 光束直径（mm）（V×H，nominal） | 8-12×26 | ||||
| 光束发散（mrad）(V×H，nominal) | 1×3 | ||||
| 时间抖动（ns） | ±2 | ||||
设备
电源：
型号 PM-848，PM-846：3相4线，208V30A或400V20A，50/60Hz
型号 PM-844，PM-842：单相，200-240V，50/60Hz，15A
冷却水：
10 liters/minute，5℃-20℃，40-60psig
激光气体：
Kr或Xe惰性气体，F2或HCL卤素气体，Ne和He保护气，或预混合气体