IPEXTM840/860系列工业准分子激光器
应用于电子、通信、半导体、医疗设备和脉冲激光沉积的工业级准分子激光器
延长气体使用寿命和降低成本的ICONTM（在镍上集成陶瓷）技术
EasyClean自动光学密封，以保持填充气体，减少维护时停机时间
可选的高亮度镜头，适用于要求低光束发散或延长相干长度
高稳定镜片座使光束指向精度达到极限
易于集成到工业加工系统
IPEX-840/860系列准分子激光器提供了在电子，半导体和医疗设备行业的工业生产应用的广泛需要的先进、高占空比性能和可靠性。使用ICONTM（在镍上集成陶瓷）技术，IPEX系列激光器在低成本下提供高光学性能。高亮度镜片可用于要求长路径低光束发散（如雷达），延长相干长度（如光纤光栅制造）和改善焦距。易于使用，便于维护和运行经济，IPEX-840/860系列激光器把低运行成本和高运行时间，与高精密切削性结合在一起。
| 特点 | 益处 |
ICON激光管 | 延长气体寿命，更换间隔长，运行成本低 |
EasyClean自动光学密封 | 简化了光学维护，保留填充和钝化气体 |
先进的镜片座 | 200mrad指向稳定性 |
键控镜片 | 镜片清洁重装后不需要重新调节 |
稳定能量控制 | 内部、突发和外部触发模式快速、精确能量稳定性 |
预电离 | 增强能量稳定性，典型脉冲波动≤1.5%（KrF） |
内部气体净化 | 去除微粒和主镜片保洁 |
规格
ArF | KrF | XeCl | XeF | ||
| 波长（nm） | 193 | 248 | 308 | 351 | |
| 最大脉冲能量（mJ） | Ipex-840系列 | 230 | 450 | 300 | 275 |
| Ipex-860系列 | 250 | 700 | 400 | 350 | |
| 稳定平均功率（W） | Ipex-848 | 30 | 80 | 50 | 45 |
| Ipex-846 | 15 | 40 | 25 | 22 | |
| Ipex-844 | 6.0 | 20 | 12 | 11 | |
| Ipex-842 | 3.0 | 10 | 6.0 | 5.5 | |
| Ipex-868 | 20 | 60 | 35 | 30 | |
| Ipex-866 | 10 | 30 | 18 | 15 | |
| Ipex-864 | 5.0 | 18 | 10 | 9.0 | |
| Ipex-862 | 2.5 | 9.0 | 5.0 | 4.5 | |
| 最大重复频率（pps） | Ipex-848 | 200 | |||
| Ipex-846 | 100 | ||||
| Ipex-844 | 50（ArF时为40） | ||||
| Ipex-842 | 25（ArF时为20） | ||||
| Ipex-868 | 100 | ||||
| Ipex-866 | 50 | ||||
| Ipex-864 | 30（ArF时为25） | ||||
| Ipex-862 | 15（ArF时为12） | ||||
| 脉冲宽度（ns）(FWHM，nominal) | 15 | ||||
| 光束直径（mm）（V×H，nominal） | Ipex-840系列 | 12×26 | |||
| Ipex-840系列 | 12×28 | ||||
| 光束发散（mrad）（V×H，nominal） | Ipex-840系列 | 1×3 | |||
| Ipex-840系列 | 1×3 | ||||
设备
电源：
8X8&8X6型：3相4线，208V30A或400V20A，50或60Hz
8X4&8X2型：单相，200-240V，20A，50或60Hz
冷却水：
8X8&8X6型：10 liters/minute,5℃-20℃，40-60psig
8X4&8X2型： 5 liters/minute,5℃-20℃，40-60psig
激光气体：
Ar，Kr或Xe惰性气体，F2或HCL卤素气体（稀释），Ne和He保护气；或预混合气体，压缩空气或氮气