ATLEX-1000-I高重频准分子激光器
--High frequency excimer laser
新一代紧凑型大功率风冷准分子激光器
应用于科研、医疗和工业领域
高重复频率(可达1000Hz)
全新技术的金属陶瓷腔
超快电晕预电离技术
采用固态开关,工作寿命长
激光腔体<3L
全部风冷,温度控制
方便清洗的光学镜架
内部集成4个电磁阀,方便气体处理
系统集成RS485,RS232,USB和FOC接口
能量稳定模式
符合欧洲CE标准,RoHS认证
气体介质 | KrF | XeCl | 单位 |
波长 | 248 | 308 | Nm |
最大脉冲能量 | 15 | 8 | mJ |
最大平均功率 | 8 | 10 | W |
最大重复频率 | 1000 | Hz | |
脉冲宽度 | 5-8 | ns | |
光束直径(VxH) | 4x6 | mm | |
光束发散角(VxH) | 1x2 | mrad | |
能量稳定性 | <3 | % | |
冷却方式 | 风冷 |
ATLEX技术概述
ATLEX系列短脉冲准分子激光器使用金属陶瓷技术并利用全新电离技术发明了设备的大能量概念,强化的超快预电离技术(专利)可以在约几纳秒的脉宽条件下产生较大单脉冲能量并加强了所有高压部件的可靠性。
独特的ATLEX激光射击能够保证均匀性极好的矩形光斑,比起其他小型产品的高斯光斑拥有更好的材料加工性能和医学应用优点 。
优化的预电离电路:
*优秀的光斑均匀性
*低发散角
*低电离电压
*提高了气体纯度和使用寿命
*提高了窗口寿命,延长了腔体维护时间
金属陶瓷反射腔技术
金属陶瓷反射腔是全部由防卤素和紫外光侵蚀的铝合金及陶瓷制造的。陶瓷绝热高压电容和主电极的全新设计保证了长期的气体稳定寿命,相对较低的气体污染并提高了电气元件的可靠性。而且,内置的静电粉尘吸附装置大大降低了窗口镜片的受污染概率。腔体优化的几何形状保证均匀冷却。因此激光器拥有良好的光束质量和光束指向稳定性。
便于冲洗的光学支架
清理从激光器输出耦合器到惰性气体位置的整个光路是UV激光产业的一个成熟做法。清理的主要作用就是降低光路中现有的氧气,UV光产生的臭氧,水蒸气和加热产生的污染物。氧气和其他污染物强烈地吸收了UV辐射,产生的臭氧和腐蚀光学涂层的受激污染物。因此,清理可以使UV光的高透射和延长暴露着的光学器件的使用寿命。
应用
ATLEX激光器构造紧凑,安全性能高,在医疗(眼科手术)、微电子工业(光纤光栅刻写)、激光微加工和科研等领域有广泛的应用。
光纤布拉格光栅
ATLEX的193nm和248nm特殊相干性短脉冲,与所有类型的光纤布拉格光栅写入兼容。
微加工
很短的准分子激光脉冲输出10-20mJ,相当于兆瓦的峰值功率,可以应用在快速成型,微加工和微电子领域。可应用于生物芯片/聚酯/玻璃/硅片/薄金属/陶瓷等材料的加工。
光谱学
3-5ns的短脉冲为研究人员提供了新的有力工具,用于光致电离处理和高精度TOF光谱。极短ATLEX激光脉冲也可被用在不同的分析工具,比如准分子激光器消融系统,与LA-ICP/ICP-MS光谱仪相连。
APLI大气压力激光器离子化
APLI是一种粒子性破坏性离子化放大,对于要求高的应用,如,低浓度PAH确定,聚合物研究等,有无与伦比的敏感性和选择性。
眼科手术
应用飞行光斑方式结合不规则投射技术可以帮助医生完成很多眼科手术,治疗近视/远视/散光和角膜不规则。