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IPEXTM 840/860 PLD系列脉冲激光沉积用准分子激光器

Excimer Lasers for Pulsed Laser Deposition

·基于轻工机械最畅销的Ipex系列工业级准分子激光器，为PLD应用优化了激光器
·优秀的光束匀称性，脉冲到脉冲能量稳定和短脉冲持续时间
·在所有重复率能量恒定
·最长气体寿命和最低运行成本的ICONTM（在镍集成陶瓷）技术
·EasyClean自动光学密封，以保持填充气体，减少维护时停机时间
·高亮度镜头，适用于要求低光束发散或延长相干长度
·定制光束传输系统

IPEX-840/860系列准分子激光器在脉冲激光沉积（PLD）领域展现了优异的性能、耐用性、可靠性和满足研究人员和系统集成商要求的易于集成性能。

稳定性能得到可靠PLD结果：

·能量恒定
IPEX-840/860系列激光器的指定脉冲能量从单脉冲到最大重复频率都是恒定的。这与其他有竞争力的激光器智能在地重复频率能量恒定和能量岁脉冲重复率上升而快速下降形成鲜明对比。LightMachinery的方法使PLD的工艺参数与激光重复率是一个恒量。

·恒定脉冲稳定性
在PLD应用中，脉冲能量受一个先进的能量监视器监控，能够准确的调节放电电压和混合气体，在任何操作条件，包括PLD需要的突发脉冲，恒定输出能量。

·指向性恒定不变
高稳定性使镜片座能够有200m-radian指向稳定性和光学维护后不需要调制光束角度

·光束质量稳定性
IPEX-840/860系列激光器的光束强度分布被设计为边缘陡峭，顶部平坦，特别是激光管寿命的微小变化。

PLD光束传输系统

我们可以针对任何特定的PLD要求提供完整的激光传输系统

规格

波长（nm）		248（KrF）	193（ArF）
最大脉冲能量（mJ）	Ipex-840系列	450	230
最大脉冲能量（mJ）	Ipex-860系列	700	250
最大重复频率（pps）	Ipex-844	50	40
	Ipex-842	25	20
	Ipex-864	30	25
	Ipex-862	15	12
稳定平均功率（W）	Ipex-844	20	6.0
	Ipex-842	10	3.0
	Ipex-864	18	5.0
	Ipex-862	9.0	2.5
脉冲宽度（ns）（FWHM，nominal）	15ns
光束直径（mm）（V×H，nominal）	Ipex-840系列	12×26
光束直径（mm）（V×H，nominal）	Ipex-860系列	12×28
光束发散（mrad）（V×H，nominal）	Ipex-840系列	1×3
光束发散（mrad）（V×H，nominal）	Ipex-860系列	1×3

设备

电源：单相，200-240V，20A，50/60Hz

冷却水：5 litres/minute，5-20℃，40-60psig

激光气体：预混合气，具体请联系我们