型号
中空区尺寸
平台尺寸
位移行程
1600分割解析度
定位精度
平行度
重复精度
重量
M-JTH90-30-C3
37x37mm
75X90mm
X=30mm，Y=30mm
0.625um
±4um/300mm
≤2um
20um
1.6Kg
