型号
中空区尺寸
平台尺寸
位移行程
1600分割解析度
定位精度
平行度
重复精度
重量
M-JTH200-100-C3
145x122mm
200X200mm
X=100mm，Y=100mm
0.625um
±4um/300mm
≤2um
20um
4.3Kg
