超短脉冲激光器
——ultrashort pulse laser
EdgeWave公司的超短脉冲激光器为半导体激光器泵浦的锁模固体激光振荡放大器。它是基于独特的INNOSLAB激光技术实现的. 通过对晶体形状、散热和光腔设计的优化组合,INNOSLAB超短脉冲激光器具有以下极具优势的特征:
- 结构紧凑
- 高效率和高放大率因子
- 高光束质量
- 功率可提升到千瓦量级
PX-系列 超短脉冲激光器
——PX-Series ultrashort pulse laser
PX-系列是基于INNOSLAB激光技术的皮秒振荡放大系统:
技术参数:
- 光束质量: M² < 1.5
- 脉冲能量达 1000µJ
- 脉宽 10ps
- 峰值功率达 100MW
- 脉冲重复频率达 20MHz
- 平均功率达 400W
- 波长 1064、 532、 355、266nm
主要应用:
- 光伏产业,如:硅晶园的划片、打孔和切割;薄膜太阳能电池和晶硅太阳能电池导电层和绝缘层的烧蚀
- 印刷工业,如: 印刷轮雕版
- 显示领域,如: 构造导电层,横向连续硅结晶
- 电子行业,如: 印刷电路板的钻孔和切割
- 汽车行业,如: 燃油喷射阀门的制造
- 工具制造和机械工程,如: 三维快速成型
Model | PXxxx-1 | PXxxx-2 | PXxxx-3 | PXxxx-4 |
Wavelength(nm) | IR | Green | UV | DUV |
Highest beam quality M2 | 1.1 | 1.1 | 1.5 | 2 |
Max. average power(W) | 400 | 200 | 90 | 20 |
Max. repetition rate(kHz) | 20 | 20 | 20 | 20 |
Max. pulse engergy(mJ) | 1000 | 600 | 300 | 200 |
Pulse width(ns) | 10 | 10 | 10 | 10 |
Energy stability(%)rms | 1 | 2 | 2 | 3 |
Timing stability(ns) | 50 | 50 | 50 | 50 |
Polarisation | >100:1 | >100:1 | >100:1 | >100:1 |
Beam ellipticity(far field)(%) | <10 | <10 | <10 | <10 |
Diameter at window(mm) | 3 | 3 | 3 | 3 |
Full divergence angle(µrad) | 500 | 250 | 226 | 226 |
Point stability(µrad) | <100 | <100 | <100 | <100 |
Warm-up time,from cold start(min) | 15 | 20 | 30 | 30 |
from standby(min) | 8 | 15 | 30 | 30 |