概述应用

分体式混合设计飞秒激光器,红外、绿光两种波长可选可调,绿光波段最高功率超过5W,重复频率100~1000kHz范围内可调,光束质量M2<1.3

·  喷油嘴钻孔    ·  航空航天脆性材料精密加工   ·  OLED加工    ·  高效微纳米级加工    ·  半导体晶圆加工    ·  介入式医疗器件精密加工    ·  电池电极微加工    ·  表面微结构改性等



AOFemto 1030AOFemto 515
规格参数2-10010-10020-2001-10010-10020-200
波长 (nm)1030515
平均功率 (Watts)210201510
脉冲能量(µJ)20100100105050
指定频率 (kHz)100100200100100200
重复频率 (kHz)单脉冲到1000
脉宽 (fs)<800
光束质量 (M^2)<1.3
光斑圆度(%)>85
光束直径 (mm)2
发散角(mRad)<1.3<0.7
指向稳定性(prad/C)<20
极化比100:1线偏振,竖直偏振100:1线偏振,水平偏振
脉冲-脉冲稳定性(%RMS)<2
平均功率稳定性(%over12 hours)<3
冷开机预热(mins.)<30
待机预热(mins.)<20
环境温度(°C)15-30
环境湿度(%)20-80无冷凝
储藏温度(°C)-70
储藏湿度(%)20-80无冷凝
工作电压(VDC)/需求功率(W)90-260
线路频率(Hz)50-60
通信协议RS-232
冷却方式水冷