Newport的CeraMech™技术将创新性的碳化硅（SiC）材料作为平台基体，较之传统的以金属材料为基体的平台，性能进一步提升。融合Newport业界领先的DynamYX®和HybrYX®系列陶瓷气浮轴承平台25年经验，碳化硅（SiC）平台基体具有铝合金的轻质和钢材质的强度和刚性，刚性的平台基体及导轨安装面可使轨迹精度（Pitch/Yaw/Roll）达到一个传统机械导轨平台前所未有的水平，出众的步进和稳定性能可增大系统产能，下轴3点支撑的设计将不再对安装表面的平面度提出苛刻的要求，并且使得XY平台成为一个现场可更换的单元模块，碳化硅（SiC）材料的热膨胀系数是铝合金的1/6，可保证平台长期热稳定性并提高平台的精度及重复精度。