其他尺寸的规格可接受订做

台面材料:1Cr13 (铁磁不锈钢); 台面安装空: 25mm×25mm 阵列, M6螺纹孔;

平衡方式：空气弹簧气垫隔离，3个真空管水平调节阀自动平衡

平台不平度:0.02-0.05mm/平方米；表面粗糙度：0.8-1.6 微；固有频率：1.5-3 Hz