在前聚焦扫描振镜工作时，激光束首先进入移动镜头。通过移动镜头之后，光束快速分散，接着进入一个或两个聚焦镜头。会聚的光束穿过镜头，并由一组 X 和 Y 镜片（这些镜片由振镜式扫描器移动）引导。X 和 Y 镜片呈直角排列，向下引导光束，覆盖工作范围的长和宽。
在没有焦点校正的扫描振镜中，向任一轴向移动工作范围中心聚焦的激光光斑时，都会划出一个弧形，在工作范围上方产生一个聚焦点的球面。在远离工作范围中心的位置，激光光束没有聚焦。这是因为当扫描器将光束向远离工作范围中心的方向引导时，镜头到工件的距离增加了。
在前聚焦扫描振镜中，通过微调移动镜头和聚集镜头之间的距离来实现聚焦补偿，由于扫描器通过第三个移动轴—“Z”轴在整个工作范围内引导光束，故而得名“前聚焦扫描振镜”。