FX-系列是基于InnoSlab激光技术的飞秒振荡放大系统:
光束质量: M² < 1.5
脉冲能量达 100µJ
脉宽 600fs
峰值功率达 160MW
脉冲重复频率达 50MHz
平均功率达 200W
波长 1030、 515、 343nm
技术参数
FX-系列的主要应用有:
光伏产业,如:硅晶园的划片、打孔和切割;薄膜太阳能电池和晶硅太阳能电池导电层和绝缘层的烧蚀
印刷工业,如: 印刷轮雕版
显示领域,如: 构造导电层,横向连续硅结晶
电子行业,如: 印刷电路板的钻孔和切割
汽车行业,如: 燃油喷射阀门的制造
工具制造和机械工程,如: 三维快速成型