NewView™ 73003D表面轮廓仪

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NewView™ 7300表面轮廓仪以其极高的精密度和准确度定性和定量地反映出样品的表面粗糙度、台阶高度、关键部位的尺寸以及样品的形貌。测量过程精密,高速,非接触,且样品无需特殊处理。在高速扫描状态下纵向测量范围可以从小于1nm至20000µm,基于ZYGO 专利的扫描技术,无论怎样的表面形貌,放大倍数以及台阶特性,NewView™ 7300只需一次扫描即可达到0.1nm的纵向分辨率,并获得所有的被测参数。

凭借ZYGO在光学设计和制造领域多年来所赢得的盛誉和积累的经验,NewView™ 7300具有超常的光学性能和极佳的图形质量。系统所具备的自动化放大功能给测试带来灵活多变的性能,极大增强3维表面轮廓测量的质量。ZYGO公司所提供的从1.0×至100×的物镜及超常工作距离的物镜可以完成所有的测量工作。物镜可以很容易的安装在一个6工位的手动或者自动塔台,也可以直接安装到仪器上单独使用。NewView™ 7300侧向分辨率为亚微米级,测量区域可达100mm×100mm,使用其特有的图像拼接功能,可检测更大的范围。

NewView™ 7300高速、可靠和稳定之特性使其在满足要求的环境下得到充分的发挥。ZYGO产品经过全面的检测以确保其作为测量仪器的标准性和权威性,并保证出厂产品的各部件功能完好。系统精度随时都可以用美国国家仪器标准测量局NIST提供的标准块进行校验。用户的应用进一步印证了NewView™ 7300产品的完美无瑕。

NewView™ 7300配备了ZYGO公司自行开发的综合测量软件包-MetroPro®可以提供三维和两维的数据分析、实时显示以及应用处理 选项。MetroPro®所提供的友好直观的人机交互界面包括自动控制、密码保护、统计数据库、可编程脚本、用户自定义界面、自行设置合格/不合格标准等。通过选用高性能自动模块包括五轴电动平台,自动聚焦和自动搭台等可以提高测量过程的可靠度和满意度,不仅让NewView™ 7300轮廓仪更方便使用,同时也最大化提高其自动检测能力。

如果您目前还不能确定需要什么性能的配置,或者还不清楚未来所需,NewView™ 7300会为您提供全方位的选择和升级版本来满足您测量和经费预算的需要,为您长期投入带来保障并获得回报。