最小的真空六自由度平台

负载  5kg 

绝对值编码器

重复性  ±0.1μm

行程范围  34mm/42° 

行器分辨率  40nm

最小增量运动  0.2μm

用无刷直流电机(BLDC)和长寿命滚珠丝杠直接驱动

精度高，速度快，使用寿命长

强大的数字控制器，开放的软件架构

自定义，稳定的枢轴点，软件可选

在笛卡尔坐标下表示平台位置，提供运动空间模拟软件

应用领域

研究和工业，标准和真空环境。用于微操作，激光和光学对准，生物技术，工具控制