全一体化的激光光束分析仪器,单一设备实现光束形貌参数、光束传播参数、M2因子等全部激光束参数的分析测量。
典型特点
● 单一设备测量所有的光束参数
● 同时高分辨率波前和强度测量
● 瞬时单点M2测量
● M2测量无需移动部件
● 可以测量连续和脉冲光束,脉冲测量自动触发
● 结构及其简单,且免维护
● 低价格
国PhaseView公司光束质量分析仪BeamWave原理:
BeamWave工作原理图
单次测量M2因子原理示意图
原理:在CCD内部,激光光束被分成两束并分别先后到达高灵敏度波前CCD探测器阵面,并先后得到两个光束图像,通过分析比较这两个图像的波前能量强度分布和波前相位分布可以分析测量出该光束的所有参数:
● 光束形貌参数:三维能量分布,光斑位置,发散角,腰斑大小,
● 光束传播参数:波前能量分布,波前相位分布,波前曲率半径,腰斑大小和位置,瑞利长度等等
● M2因子
和传统的Shack-Hartmann波前分析仪测量波前的比较:
传统光束质量分析仪由Shack-Hartmann波前探测器取样测量波前能量,测量分辨率低,测量M2需要复杂的导轨,测量速度慢等等.相较于传统的Shack-Hartmann波前探测器,BeamWave具有高速、高分辨率、无需导轨、测量更全面等优势。
BeamWave技术指标:
型号 | BeamWave10 | BeamWave500 | BeamWave1000 | BeamWave1500 | |
最大输入光束直径(1/e 2),mm | 2 | 3.2 | 4.8 | 6.4 | |
(双CCD) | |||||
光束强度测量模式 | 连续或脉冲,XYZ三轴测量 | ||||
波长范围 | 350~1100nm | ||||
有效CCD口径 | 2mm | 3.2mm | 4.8mm | 6.4mm | |
CCD像元大小 | 5.2x52μm | 6.4x6.4μm | |||
M2测量功能 | 无 | CW或Pulse | CW | ||
M2范围 | -- | 1~50 | 1~50 | 1-50 | |
M2模式 | -- | 连续 或脉冲 | 连续 | ||
M2精度 | -- | +/-5% | +/-5% | +/-5% | |
M2重复性 | -- | 2% | 2% | ||
波前测量功能 | 有 | ||||
波前测量点数 | 350 x350 | 500×500 | 1392×1040 | 1392 X1040 | |
波前灵敏度(λ),rms | λ/50 | 0.005 | 0.005 | 3nm, >λ/200 | |
波前精度(λ),rms | λ/15 | 0.01 | 0.01 | 6nm, >λ/100 | |
波前动态范围(λ) | 1200 | 1500 | 1500 | 1800 | |
测量时间 | 实时 | ||||
重量,kg | 0.035 | 0.35 | 2.5 | 1.15 | |
尺寸,mm | 44x44x25.4 | 41×55×80 | 87×161×84 | 114x72x172 | |
光学接口 | C-Mount | ||||
计算机接口 | USB2.0 | ||||
标配软件 | Alignment Tool | GetLaseFullEdition | GetLase FullEdition | GetLase FullEdition | |
GetWave | GetWave | ||||
供电 | USB供电,无需电源 | ||||
可选项:♦3ND Filter, Beam Splitter Wedges, IR Converter | |||||
♦光束缩束和扩束, Beam Reducer/Expander2X,3X,4X | |||||
♦Software Development Kit软件,GetWave软件 | |||||
♦波长从紫外到红外的特定探测器(其他波长) |