主要功能特点   

1．曝光类型：单面对准双面一次曝光；  

2．曝光面积：110×110mm；  

3．曝光照度不均匀性：≤3%；  

4．曝光强度：≥40mw/cm²可调；  

5．紫外光束角：≤3˚；  

6．紫外光中心波长：365nm、404nm、435nm可选：  

7．紫外光源寿命：≥2万小时；  

8．曝光分辨率：≤1.5μm；  

9．曝光模式：双面同时曝光；  

10．对准精度：对准精度≤6μm；  

11．对准范围：X：±5mm   Y：±5mm；  

12．旋转范围：Q向旋转调节≥±5°；  

13．最大升降：≥16mm；  

14．密着曝光方式：密着曝光可实现硬接触、软接触和微力接触曝光；  

15．显微系统：双视场CCD系统，显微镜45X～300X连续变倍，显微镜扫描范围：X:±40mm，Y:±35mm；双物镜距离可调范围：11mm～100mm，计算机图像处理系统，19″液晶监视器；  

16．掩模版尺寸：3″×3″、4″×4″、5″×5″；  

17．基片尺寸：φ2″、φ3″、φ4″；  

18．基片厚度：≤5 mm；  

19．曝光定时：0～999.9秒可调；  

20. 电源：单相AC220V  50HZ ，功耗≤1.5KW；  

21．洁净压缩空气压力：≥0.4MPa；  

22．真空度：-0.07MPa~-0.09MPa；  

23．尺寸： 985mm（长）×680mm（宽）×1800mm（高）；  

24．重量：约190Kg。