技术要求

公差范围

尺寸范围

1-400mm

尺寸公差

+0/-0.05mm

中心偏

0.04

表面质量

40/20

表面精度

λ/10 per @633nm

倒边

0.1-0.5mm

材料

硅SI

镀膜

8-14微米或3-5微米等波段