技术要求
公差范围
尺寸范围
1-400mm
尺寸公差
+0/-0.05mm
中心偏
0.04
表面质量
40/20
表面精度
λ/10 per @633nm
倒边
0.1-0.5mm
材料
硅SI
镀膜
8-14微米或3-5微米等波段