平晶是利用光波干涉现象测量平面度误差的，故其测量方法称为平晶干涉法,也称技术光波干涉法。测量时,把平晶放在被测表面上,且与被测表面形成一个很小的楔角 θ，以单色光源照射时会产生干涉条纹。干涉条纹的位置与光线的入射角有关。如入射光线垂直于被测表面，且平晶与被测表面间的间隙很小,则由平晶测量面P反射的光线与被测表面反射的光线在测量面 P发生干涉而出现明或暗的干涉条纹。若在白光下，则出现彩色干涉条纹。如干涉条纹平直，相互平行,且分布均匀,则表示被测表面的平面度很好；如干涉条纹弯曲，则表示平面度不好。其误差值为f= (v/ω)×(λ/2) λ为光波波长，白光的平均波长为0.58μm,ν为干涉带弯曲量，ω为干涉带间距。平面平晶是以光波干涉原理为基础，利用平晶的测量面与试件的被测量面之间所出现的干涉条纹来测量被测量面的平面度。
*平面平晶用于检定量块的研合性和平面度以仪器和量具的测量面、工作面的平面度。*亦可用于检定高精度的平面零件，例如，平面光学零件、高级平台、平板、导轨、密封件等。*平面平晶特别适用于计量单位、实验室作为标准平面和样板。平面平晶的技术参数