型号	AlignMeter – 50
透镜焦距	50mm
位置分辨率	Down to 0.1µm at 50Hz digital
	filter+Averaging
位置精确度	±15µm edge-to-edge (±8µm)
角度测量范围	180 mRad (90 mRad)
角度分辨率	0.02 mRad (0.01 mRad)
角度精确度	0.5 mRad edge-to-edge (0.01 mRad)
重量	140 Gr. Excluding cables