激光光束分析的附件：滤光片
为了增加Si或紫外增强Si探测器的可用的功率范围，所提供的滤光片被置于盒子中。在M²Beam and FocusGage系统情况下，滤光片可以再刀口和传感器之间插入。这个特殊的安排将防止光束畸变，因为它在扫描平面之后。使用的一般指导原则如下：
l 没有滤光片：功率达到5mW
l NG4滤光片：功率达到50mW（大约10%的透射）
l NG9滤光片：功率达到1W（大约0.5%的透射）
实际衰减将依赖于波长和滤光片而改变，实际透射值是在已校正的滤光片文件中找到，其中包括软件。
请分别参考NG4和NG9的典型透过曲线。
Accessories for BeamOn system
高功率激光器衰减到100W/cm2的专门附件
SAM1 – 取样范围为3x10-3 的取样器，光谱范围： 350nm - 1100nm.
SAM2 --取样范围为3x10-6 的取样器，光谱范围： 350nm - 1100nm.
RDC – 在可见区1x2.5因子的光束减少器。