LM系列激光干涉测头属于精密测长仪器，是首先实现在0 - 20mm或0 - 50mm范围内进行纳米级精度接触式长度测量的激光干涉仪。

其设计紧凑的测量头和Æ8h6的测杆套筒与传统长度测量系统兼容。

微型光机电集成干涉头将电机驱动的测头的位移转换为光学干涉信号，经由光缆传入光电信号处理/电源供给单元进行处理并输出为长度值。

作为干涉头光源的He-Ne稳频激光，及其对激光波长修正来降低环境影响，构成其高计量精度的基础。

仪器操作及测量结果显示既可用分离的键盘/显示单元，也可用PC运行所提供的软件包。