SP系列微型平面镜干涉仪属于精密测长仪器,其设计旨在可以同用户系统相组合,并适用于各种类型的实验设备和实验任务。微型传感测头可永久安装在计量系统内。

物体上的反射镜可以采用平面镜或具有光学特性的反射材料,且测量系统中允许有若干分的准直角度误差而不会影响干涉仪的正常工作。

激光光源通过光缆与传感干涉测头进行耦合。微型干涉仪将移动镜的运动转换为光学干涉信号,后传到信号处理单元进行处理

干涉仪可以在PC上运行用户软件来控制各电路单元和显示测量结果



SP-LR系列激光干涉仪测量系统所设计的测量范围非常大,最高可达80米

SP-LR可以使用各种不同的光学反射镜例如中空反射镜可用来实现远距离测量。同时,利用这些反射镜,也可以使干涉仪俯仰偏摆角度更加稳定,这使得干涉仪的调整和设置变得更加容易

SP-LR利用中空的反射镜以保证光路倾角的高度稳定性,可以使干涉仪成为一个工具,用来在三坐标测量机和机床使用中进行各种应用设置、调整以及精度的校准

SP-LR 应用单光束测量原理,可以测量调教阿贝误差,从而避免了一维测量错误