微型双平面镜干涉仪SP-D系列的设计旨在可以同用户系统相组合，用于同时进行纳米级精度的双长度测量。该双长度测量值之差及其双光束间距可用于精密确定相应的角度，角度测量范围同两光束间距无关，约为2’。如果长度变化很小，将输出光束聚焦在被测物体上可令角度测量范围增大到±30’。

激光光源通过光缆与传感干涉测头进行耦合。微型干涉仪将移动镜的运动转换为一对光学干涉信号，后传到信号处理/电源供给单元进行处理。为实现更长测量而进行模块化设计的稳频He-Ne激光器，对激光波长的环境漂移进行修正，构成其高计量精度的基础。在PC上运行用户软件包来控制各电路单元和显示测量结果。

微型差动式干涉仪SP-DI系列的设计旨在可以同用户系统相组合，用于同时进行纳米级精度的双长度测量及角度测量。干涉仪严格对称的光学结构使长度测量具有极高的长期稳定性。

干涉仪利用两个平行光束可以高精度的检测被测物参考点与被测点的相对运动。光束间距在出厂前被精确校准得以保证了角度测量的高度精确。

干涉仪可以在PC上运行用户软件来控制各电路单元和显示测量结果。

SP-DIS系列平面镜干涉仪是纳米级精密长度测量仪器。他们可以适用于特殊的空间距离测量。特殊的微型侧头使应用系统可以作为永久安装的测量系统。

SP-DIS不仅适用于平面镜和其他光学表面测量，同样适用于倾斜度均匀的反射面测量,如球面和凹面反射镜。

激光光源通过光缆与传感干涉测头进行耦合。微型干涉仪将移动镜的运动转换为一对光学干涉信号，后传到信号处理单元进行处理。模块化设计的稳频He-Ne激光器可应用于长距离测量，其可以对激光波长的环境漂移进行修正，这是构成高计量精度的基础。干涉仪可以在PC上运行用户软件来控制各电路单元和显示测量结果。