特点

测量范围从5×10-10 mbar至2.7×10-2mbar(3.75×10-10 Torr至5×10-2Torr)

在10-8…10-2mbar 5%工艺压力范围内为表现出优秀的重复性

超压检测保护丝极，防止过早烧毁

双长使用寿命氧化钇铱丝

自动发射电流选择降低了控制复杂性

传感元件带有板载校准数据，易于更换，可保证高再现性

符合rohs标准

应用

对半导体过程和传输腔室的压力测量

工业镀膜

低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制

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