特点
复合真空计 – 冷阴极和皮拉尼
5 X 10-9 mbar 至大气压的极宽测量范围
倒磁控管没有灯丝，不会出现丝极烧毁的现象
卓越的点火属性
易清洗
FPM 或金属密封馈入装置
LED 指示器，高压时亮起
对数模拟输出信号
应用
高真空压力测量
蒸发与溅射镀膜系统
全真空范围内的一般真空测量和控制
技术规格
型号
密封 | MPG400
FPM密封 | MPG401
金属密封 |
测量范围
| 5 × 10E-9至1000 mabr
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精度（N2） 10E-8至100 mbar
|
≈±30%读数
|
重复性
| ≈±5%读数
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输出信号（电压）
|
0至+10.5V
|
电源电压
功率
| +15至+30Vdc
≤2 W
|
电气连接件
|
FCC 68/RJ45网口，8脚屏蔽
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工作温度
| +5至+55℃ |
| 安装方位 | 任何 |
| 防护等级 | IP40 |
订购资料
型号
密封 | MPG400
FPM密封 | MPG401
金属密封 |
| KF25 | 351-010 | 351-020 |
| KF40 | 351-011 | 351-021 |
| CF40 | 351-012 | 351-022 |