特点

拥有成本更低，预热速度快50%，节能，低功耗

易于集成，各种满刻度、法兰和接口，标配两个设定点

轻松一键归零或远程信号归零指令，可调零点偏移

诊断端口便于快速服务与维护

两年保修服务，先进的加热概念和真空计保护延长了使用寿命

卓越的信号稳定性和可重复性，即使是非常严苛的等离子应用，都无需长期执行重新校准

合规性和标准：Ce、en、UL、半、RoHS

应用

蚀刻、CVD、pvd及其他半导体生产过程

化学和腐蚀性真空过程

一般薄膜和真空过程

作为基准仪器监控测试仪器是否符合国际标准

符合传递标准，确保测量可追溯性

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