薄膜沉积控制器
SQC-310薄膜沉积控制器凭借先进的技术、增强的显示和实惠的价格，INFICON SQC-310系列提供同类薄膜控制器无法企及的优势。您可以为自己的应用选择理想的型号:连续沉积(SQC-310)或共沉积(SQC-310C)。
特点
明亮的彩色液晶显示屏-提供英文或中文版本
标准RS-232和usb(可选RS-232和以太网)
设有“快速设置”(快速设定)菜单、6个区分上下文按钮以及一个简便的参数设定旋钮，易于设定和操作)
用于开发、测试和下载过程的Windows程序，以及用于将仪器数据记录到PC进行过程分析与质量控制的Windows程序
精确的过程控制，尤其适用于低沉积速率，测量速率为每秒10个读数，测量分辨率为±0.03Hz
存储容量可达100个过程、1000层薄膜、50种薄膜材料
使用单传感器或多传感器监控源材料，提供精确的源分布监控
技术规格
型号
| SQC 310 | SQC310C |
| QCM输入 | 2(可选4) | 4 |
| 测量频率范围 | 可调：
1.0MHz最低
6.5MHz最高
|
频率分辨率
0.25s测量间隔 | ±0.012Hz
|
厚度和速率分辨率/测量
工具/密度=100/1，基础频率=6赫兹，0.25秒测量间隔
| ±0.015
|
| 频率稳定性 | ±2 ppm，0至50℃ |
| 测量周期 | 0.10至1s(可调) |
| 速率显示 | 0.01小时/秒
|
控制
存储
输出信号
数字输入 | 100个过程、1000层薄膜、50种薄膜材料
0至+10 VDC
5 VDC-非隔离 |
| 设定点继电器 | 8/8(16/16可选) | 16/16 |
| 电气接口 | RS 232标准(、以太网口可选) |
| 电源电压 | 100-240 VAC，25W |
| 标准 | Ce，RoHS |
订购资料
