激光干涉测振仪SP-S系列，是对物体位置或表面位置的瞬时变化进行精密、非接触测量的理想仪器，允许测量机械振动的频率范围为0 - 5 MHz。

该仪器是在SP系列微型平面镜干涉仪的成熟概念基础上设计出来的。SP-S系列干涉仪的传感测头装备有辅助光学元件，可以对任意粗糙度的表面进行测量。

整套系统包括装有激光器且模块化设计的电子单元、微型化设计的传感测头以及各种接口。

光纤耦合的干涉仪将沿光轴的运动转换为干涉条纹，并传入其快速、高分辨率的解码电路进行处理。操作及结果显示通过PC上运行的特殊数据处理软件来得以实现。

具有变焦功能的激光干涉测振仪LSV系列，是对物体位置或表面位置的瞬时变化进行精密、非接触测量的理想仪器，允许测量机械振动的频率范围为0 - 5 MHz。

该仪器是在SP-S系列激光干涉测振仪的成熟概念基础上设计出来的。LSV系列测振仪的工作距离，可以通过调节变焦镜头在很宽的范围内连续调节。

整套系统包括装有激光器且模块化设计的电子单元、微型化设计的传感测头以及各种接口。

光纤耦合的干涉仪将沿光轴的运动转换为干涉条纹，并传入其快速、高分辨率的解码电路进行处理。操作及结果通过PC上运行的数据处理软件来同步显示。

NA系列纳米振动分析仪是一款集成了精密显微技术的光纤耦合激光干涉测振仪。它可以应用于微观结构、微机电系统以及悬臂系统的动态性能和静态位移的测量。

通过特殊的显微镜可以将样品在50mm*50mm范围内进行精确定位。振动物体可以通过USB连接的照相机在计算机上进行观察。针对不同的目标，我们的仪器提供10倍和50倍的倍率以供选择。形变量测试以及频谱分析测试的频率可以达到2MHz。振动幅度的测量可以达到亚纳米的分辨率。

通过专业的数据分析软件，可以在计算机上进行操作并显示测量结果。这个软件还可以进行振动的频率分析，触发数据采集和脚本控制表面结构的扫描。