纳米定位与测量机可在25 mm x 25 mm x 5 mm的空间范围里实现分辨率为0.1 nm的三维坐标测量。其独特的传感器布局，令测量在所有三个方向上均消除了阿贝误差。三台测长微型平面镜干涉仪的测量轴正交于探针传感器同被测对象的接触点。

被测对象直接放置在一可移动的镜块上。该镜块的位置由三个固定的SP 500系列微型干涉仪测得。镜块的定位是由一个三轴电子动态驱动系统实现的。定位过程中产生的角度误差由两个角度传感器测量并修正。

由三个稳频激光单元发出的光束经由光纤从电气单元传到干涉头，实现了纳米定位与测量机结构的紧凑性和热稳定性。电气单元的核心是一个数字信号处理单元（<span style=\font-family:\\\'Times new= roman\\\';\\=>DSP），处理所有输入信号、控制驱动系统以及管理测量过程。