VT750/VT1200 立式干涉仪

产品性能特点：

-高精准，在半径精准测量条件下测量PV,半径测量精度1um。抛光是要求在固定半径条件下，修光圈

-高效，减少预调时间，预调+测量1分钟完成

-高安全性，气浮移动，不掉落样品，全欧洲最好的大理石导轨，配重平衡系统

-高稳定性，气浮隔振，立柱+气浮台+干涉仪集成一体，测量不同规格样品，只需简单微调

-低成本，1台工作站效率与以往10台干涉仪等同

-小曲率精密测量专用附件

-可选择低成本的静态条纹分析软件，或高精密相位条纹分析系统

-可升级客户已有ZYGO干涉仪

可选项和附件：

SRM-PLUS

小曲率测量附件

传统的线性精密测量尺，测量精度+/-3um。对于小曲率，这个不够精确，因为这个可能的精度可以超过给出的曲率公差1-3条纹。有一个潜在的误差，由于线性量尺到系统光轴的距离。

SRM-PLUS是一个创新的解决方案，对于这个问题。一个高精密压力计可设置零位，允许精密测量最大60mm曲率，在系统光轴上CX和CC方向，精度+/-1u。

X-fringe EPM

软件功能：简易生产模式

为了在生产中更实用，简化了软件界面，并配有导向功能。

EPM生成一个自动的文件，自动建立目录（甚至在网路系统上），自动文档号，全自动建立测量配置文件，干涉图，用于批量生产。