德国XONOX VT1000DL立式干涉仪工作站

产品性能特点：

-用于全口径测量光学零件，可以测量直径150mm镜片

-独特的减震设计，全封闭测量空间，有效阻止空气扰动

-高精准，在半径精准测量条件下测量PV,半径测量精度1um。

-高效，气浮承载台，精确设定测量位置

-高安全性，全口径检测，不掉落样品

-高稳定性，气浮隔振，立柱+气浮台+干涉仪集成一体，测量不同规格样品，只需简单微调

-与子孔径抛光机配合使用,完美调整子孔径测量数据与抛光机坐标系合致

-低成本静态条纹分析软件，或高精密的相位条纹分析系统

-配置高性价比XONOX 4寸FIZEAU干涉仪，6x光学变焦，也可升级客户已有ZYGO干涉仪