德国XONOX HS1200卧式干涉仪工作站

对传统Zygo, ESDi, Fisba Kugler等放置于光学平台上的卧式干涉仪进行改造,以便达到立式干涉仪的功能和测量稳定性;

产品性能特点:

-适合研发,可测量复杂光学系统测量,如卡塞格林系统,非球面自准法测量

-高精准,高精密线性轴与光学平台结合

-高效,线性量尺定位,气浮承载台,无摩擦移动,测量不同规格样品,只需简单微调

-高稳定性,气浮隔振,立柱+气浮台+干涉仪集成一体

-低成本,1台工作站效率与以往10台干涉仪等同

-精密测量曲率半径

-可配高性价比XONOX静态条纹分析软件,或高精密的相位条纹分析系统

-配置高性价比XONOX 4寸(6寸)FIZEAU干涉仪,6x光学变焦,也可升级客户已有ZYGO干涉仪