产 品 说 明                                                                                                                          

产品说明：

采用了独特的数字位移传感器，实现了高精度·高刚性·高速度和理论分辨率达1nm的压电陶瓷平台。

特点：

● 采用了独特的数字位移传感器，可实现高精度·高刚性·高速度的压电陶瓷平台。

● 采用压电陶瓷作为驱动机构，开环控制时的行程为90μm〜100μm，理论分辨率达1nm。

● 位置检测采用了数字位移传感器（频率→数字变换方式的微小位移传感器），闭环控制时的显示分辨率为10nm。

● 使用FINE系列控制器，可实现高速定位。

● 重复驱动SFS-H（直动）系列平台，可达10〜15Hz的频率。若使用FINE-01γ的模拟信号驱动时，可达25Hz。

SFS-H60XYZ(CL) 和SFS-H60Z(CL)精密压电陶瓷平台技术参数：