SEM-base LP 是我们标准SEM-base 有源压电振动 xiao 除 平台的定制、低调版本。SEM-base LP 更易于安装，提供出色的性能，并经过人体工程学优化。紧凑的设计便于安装，而无需使用 SEM 内置调平脚以外的任何东西抬起扫描电子显微镜 (SEM) 柱。而且，一旦安装，SEM 离地面的高度就不会增加。SEM-base LP 采用了我们 du 特 的 STACIS 压电技术，并具有与我们行业标准的 SEM-base VI 相同的振动 xiao 除 性能。SEM-base LP 包括脚轮，专门设计用于与许多 Thermo Fisher Scientific（以前称为 FEI）工具集成。
在SEM-base LP 如何与工具底部框架集成的示例
优势
硬安装技术 – SEM-base 与内部 SEM 振动控制系统兼容，并积极减轻从 0.6 Hz 开始的低频地板振动。
主动惯性振动 xiao 除 – SEM-base 使用高灵敏度、低频惯性速度传感器来实现高水平的振动衰减，即使在安静的地板上也是如此。
采用压电技术的串行设计 – du 特 的串行设计和专有的高压压电技术产生了从 0.6 Hz 到 150 Hz 的宽主动带宽和 wu 与伦 bi 的惯性主动振动 xiao 除，从 2 Hz 开始减少 90%。
表现
VC-C（500 μin./s，12.5 μm/s RMS）下通过模拟振动测试了 1800 磅（818 千克）you 效 载荷
规格
性能规格
| 活动自由度 | 6 |
| 活动带宽 | 0.6 赫兹 - 100 赫兹 |
| 无源固有频率 | 12Hz 标称 |
| you 效 有源谐振频率 | 0.5赫兹 |
| 1 Hz 时的隔离 | 40% - 70% |
| 2 Hz 时的隔离 | 90% |
| ≥3 Hz 时的隔离 | 90-98% |
| 内部噪音 | <0.1 纳米 RMS |
| 工作负载范围 | 900 - 2,500 磅（408 - 1134 公斤） |
| 距平台 zui 大 4 英寸（102 毫米）的磁场发射 | <0.02 μG 宽带 RMS |
设计、尺寸以及环境和实用要求
| 环境与 an 全 | 符合 CE 和 RoHS |
| 主动隔离元件 | 从高压放大器接收信号的高压压电执行器，输出高达 800 VDC |
| 无源隔离元件 | 单一刚性弹性体（无需压缩空气供应） |
| 振动传感器元件 | 向下的地震检波器型惯性传感器 测量隔离器下方的地面振动 并提供与振动运动速度成正比的电压 |
| 主动反馈控制回路 | 在支撑隔离表面的弹簧下方测量、处理和衰减地板振动 |
| 尺寸 (WxD) | 33.3 x 34.9 英寸 | 846 x 887 毫米 41 x 34.9 英寸 | 1041 x 887 毫米，带脚轮 |
| 高度 | 标称 5.26 英寸（134 毫米）， 当 SEM-base 关闭时不会改变 |
| 工作温度 | 50° - 90° F 10° - 32° C |
| 储存温度 | -40° - 130° F -40° - 55° C |
| 湿度 | < 80% @ 68° F | 20°C，zui 大 露点18°C |
| 系统电源要求 | 100、120、230、240 伏交流电 50/60 赫兹交流电；<600 W 符合 CE 标准 |
| 地板位移 | <800 微英寸。(20 μm) 低于 10 Hz |
控制器规格
| 处理器 | 150/75 MHz 双核 |
| 采样率 | 10 赫兹 |
| 模拟输出 | 16通道 |
| 模拟输入 | 16通道 |
| 状态灯 | 单灯 |
| 前面板端口 | 1x 串行 U,S,B 2.0 1x 串行 Micro-U,S,B 1x 以太网 RJ-45 2x BNC |
| 用户界面 | 前面板 LCD 显示 chao 级 终端 扩展 GUI上的字符菜单Microsoft Windows Embedded Ethernet GUI |