产品特征
超厚的热氧化层硅片：在平面光波导（AWG）制作过程中，处于最底层的SiO2膜被称之为Undercladding层，它对AWG的工艺良率有至关重要的影响。KST公司生产的超厚热氧化层硅片，由于具有优异的表面洁净措施以及稳定的薄膜质量，占据了全球AWG市场的最大份额。
规格参数
项目 | 规格 |
膜厚 | 20um±5%（最大膜厚度） |
面内均一性 | ±0.5% |
面间均一性 | ±0.5% |
折射率(@1550nm) | 1.4458±0.0001 |
标准品一览
尺寸 | 晶圓厚度 | 熱氧化膜厚度 |
4inch | 525um 1mm | 15um、20um |
6inch | 625um 675um 1mm | 15um、20um |
8inch | 725um | 15um、20um |
12inch | 775um | 15um |
折射率面内分布表面粗度資料
