CoC老化系统

● 老化通道数：192（可定制）

● 老化环境温度50~150℃可调，精度/稳定性可达±1 ℃

● 高精度弹片式CoC夹具（可定制），CoC定位精

度0.01mm，支持最小PAD位0.1x0.1mm

● 电压：0~3V；电压纹波：<100mV；

● 电流：0~30A；电流精度：0.5%

● 各通道独立输出，通道之间无串扰

● 开机时缓加电，无电压/电流过冲

● 老化器件可氮气保护，水冷冷却系统

● 设备供电：三相380V 35kW