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1mm 双抛硅片激光冷消融刻槽件,采用非接触激光冷加工工艺,实现 0.1mm 槽深、0.2mm 槽宽微槽加工,槽壁光洁平整、低崩边,槽深槽宽一致性高,无机械应力,完整保留双抛硅片抛光表面,支持 DXF