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真空退火炉-VWFT-100
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真空退火炉-VWFT-200
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真空退火炉-VWFT-500
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真空排气台-P431-5
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真空钎焊炉-VWFB-500
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卧式真空炉-VWF1211Ⅲ-2
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真空加压气淬炉-VWFQ1-500
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P系列双真空排气台-P431-9
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立式真空炉-VLF2412Ⅱ-1
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真空钎焊炉-VWFB-100
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氢气炉-L2113Ⅱ-6
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氢气炉-L2116Ⅱ-3
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卧式真空炉-VWF1211Ⅱ-5
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立式真空炉-VLF2420Ⅱ-1
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H94-31型4″双面光刻机
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真空排气台-P431-8
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真空回火炉-VWFH-100
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氢气炉-L2112Ⅱ-2
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氢气炉-L2113Ⅱ
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卧式真空炉-VWF1212Ⅱ-2