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高精度飞秒激光直写系统
xy分辨率：100-150nm   扫描速度：100mm/s   
指导价 ￥3500000
产品品牌：
图灵量子
交货周期：
6个月以上
产品简介：
FemtoX飞秒激光直写系统是一种无掩膜飞秒激光直写机，具有高精度、真三维、非接触式微纳制造能力。FemtoX直写机搭载超快飞秒脉冲激光，其高能量脉冲可以对任何材料进行微纳加工，系统配备高精度、大行程气浮位移台，可以制备大尺寸精细微纳结构；自主研发单窗口系统控制软件，多文件、多加工方式可供选择，实现路径优化；本直写系统可广泛应用于激光切割、激光打孔、双光子聚合、光波导加工、仿生结构以及超
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