超声波清洗技术,正是应对这一挑战的绝佳方案。其核心原理在于利用超声波发生器产生高频电信号(通常在20kHz至400kHz乃至更高),通过换能器转化为相同频率的机械振动,在清洗液(通常为去离子水与专用光学清洗剂的混合液)中产生密集的“空化效应”。无数微小的真空气泡在滤光片表面及缝隙中迅速形成并猛烈内爆,释放出强烈的局部冲击波和微射流。这股力量足以撕裂、剥离污染物,但对基底材质本身,只要参数得当,却足
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