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区别于太赫兹时域光谱仪，太赫兹频域光谱仪可以逐频扫描太赫兹频谱，并且可以获得更高的频率分辨率。上海屹持光电推出的太赫兹频域光谱仪系统结构紧凑，使用方便，具有更高的精度和控制能力。当THz研究人员和应用开发人员需要以高分辨率研究太赫兹频率下的材料特性时，太赫兹频域分析光谱仪是一个理想选择。从100 GHz扫描到2 THz以上的单次快速扫描，其频率分辨率高于0.25 GHz。
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